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磁控溅射系统
时间:2023-12-25
点击数量:
仪器品牌:
沈阳科岛
仪器型号:
IBVTC450
功能:
薄膜生长
主要技术指标:
真空好于
5E-5 Pa, 样品温度不低于800 C
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