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分子束外延与磁控溅射联合系统
时间:2023-12-25
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仪器品牌:
费勉
仪器型号:
MBE300、PVD100、MBE350
功能:
高质量薄膜生长
主要技术指标:
真空好于
5E-10 mbar, 样品温度不低于900 C
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