分子束外延与磁控溅射联合系统

时间:2023-12-25 点击数量:

仪器品牌:费勉

仪器型号:MBE300、PVD100、MBE350

功能:高质量薄膜生长

主要技术指标:真空好于5E-10 mbar, 样品温度不低于900 C