仪器品牌：扫描电镜Thermo Fisher Scientific+曝光系统美国JC Nabity Lithography Systems公司
仪器型号：Apreo 2S HiVac+NPGS V9.2
功能：扫描电镜成像、电子束光刻
主要技术指标：一）SEM指标：二次电子分辨率：15kV下分辨率0.5nm；1kV减速模式下分辨率0.8nm；500V减速模式下分辨率0.8nm；200V减速模式下分辨率1.2nm。（二）曝光系统指标：1）电子束驻留时间最小增量为0.5纳秒。2）同步扫描频率不低于5 MHz。3）具备图形设计软件包，具有曝光图案设计、读/写转换及图形导入等功能；4）单写场尺寸：10um-1000um
